东领科技装备首台ALD设备正式出厂 助推半导体产业高端化发展

东领科技装备有限公司  2022-09-26 10:37:36 作者:SystemMaster
今天(9月23日),东领科技装备有限公司首台ALD原子层化学薄膜沉积及氮元素注入设备正式出厂,标志着汾湖高新区半导体产业向着高端化发展又迈出新的脚步。吴江区委常委、汾湖高新区党工委书记、管委会主任张炳高,汾湖高新区党工委委员、管委会副主任吴伟斌出席产品发布会。

 
东领科技装备有限公司于2021年落户汾湖科创园,主要聚焦于高端CVD/ALD设备的研发、生产和销售,是目前国内少数可以提供该设备的半导体公司之一。作为一家科技创新型企业,该公司现拥有研发团队20人,拥有独立自主的知识产权。



目前,该公司已建设完成约900平方米的无尘车间,预计能满足每月4台设备的组装及测试,具备一年生产48台设备的硬件基础。“我们这台设备在国内率先突破了20纳米的技术节点,技术水平在国内处于行业第一梯队。后续我们还将深化研究,继续拓展设备种类,扎根汾湖做大做强。”东领科技装备有限公司董事长蒋超为介绍。


张炳高对东领科技装备首台ALD设备交付验证表示祝贺。张炳高表示,设备验证之后要尽快批量生产并投入市场,汾湖高新区将全力以赴给予支持,相关部门要主动做好靠前服务,替企业解决难题和后顾之忧;要发挥优秀企业的带头引领作用,开拓招商引资渠道和办法,引进更多同类型优秀企业,为推动汾湖半导体产业集群创新发展贡献更多智慧和力量。

此次东领科技首台高端ALD设备的出厂是汾湖高新区发展半导体产业取得的又一个亮眼成绩。近年来,汾湖高新区不断加强对优质半导体项目的招引力度,不断完善半导体企业的发展环境,半导体产业已在汾湖高新区初步形成聚集效应。汾湖高新区将继续创造优渥的营商环境,打造全国知名的科创企业聚集地。