东领科技装备有限公司

东领科技装备有限公司成立于2021年,工厂位于苏州吴江汾湖科技创业园区,在上海,韩国均设有办事处或子公司,矢志成为领先的半导体工艺所需的CVD/ALD设备的制造公司,服务全球客户。  

作为芯片制造工艺的设备企业,东领科技拥有独立自主的知识产权,聚焦于CVD/ALD设备的研发、生产和销售,是目前国内少数可以提供高端CVD/ALD设备的半导体公司。

Orient Semiconductor Technology Equipment Co., LTD.was founded in 2021. The manufacture fab is in Suzhou Wujiang District, where is the Hi-Tech equipment zone named of Fenhu Innovation Park. We also have offices in Shanghai and South Korea. We are determined to become a leading semiconductor manufacture equipment company to serve customers all over the world.

As a semiconductor equipment provider, Orient Semiconductor Technology Equipment Co., LTD. focuses on the R&D, production and sales of CVD/ALD equipment carrying independent intellectual property. Currently, Orient Semiconductor Technology Equipment Co., LTD. is one of few equipment manufacture companies who can provide CVD/ALD system products in China.
  • 服务全球客户

  • 领先的技术

  • 优秀研发团队

公司环境
企业文化
产品中心

Thermal ALD-SiN设备

型号:DL6XX-ASE100
DL6XX-ASE100系列作为半导体制造工艺中形成薄膜的设备, 是采用ALD(原子沉积)方式形成SIN膜的12寸Furnace设备。在SIN 沉积工艺中,该设备可以精确控制成膜厚度和均匀性,有极佳的台阶覆盖率、致密性和低热量等特点。
该设备从设计方面改善了残余粒子的清洗过程,更加利于维护,增加了客户的便利性。另外, 通过改善设备零配件之间的通信方式, 实现了操作控制系统的简化,大大提高了产品的装机和生命周期。

应用领域:集成电路制造和先进封装等
应用领域