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: 26 2022.09

东领科技装备首台ALD设备正式出厂助推半导体产业高端化发展

今天（9月23日），东领科技装备有限公司首台ALD原子层化学薄膜沉积及氮元素注入设备正式出厂，标志着汾湖高新区半导体产业
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